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钼铌靶材
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産品介紹
钼铌靶材是一种用于物理研究和半导体制造等领域的重要材料。 以下是钼铌靶材的基本介绍:
钼(Mo):钼是一种过渡金属元素,具有优异的高温性能和化学稳定性。 在钼铌靶材中,钼通常是主要的组成元素之一。
铌(Nb):铌是一种过渡金属元素,具有良好的耐腐蚀性和高温强度。 在钼铌靶材中,铌是另一个重要的组成元素。
物理性能
高熔點:钼和铌都具有較高的熔點,分別約爲2623°C和2477°C,因此钼铌靶材具有出色的耐高溫性能。
高密度:钼和铌都具有較高的密度,分別約爲10.2克/立方厘米和8.57克/立方厘米,因此钼铌靶材具有較高的質量吸收能力。
應用領域
物理研究:钼铌靶材常用于物理研究領域,如核物理實驗、粒子加速器、等離子體物理等,用于産生高能量的離子束或電子束。
半導體制造:在半導體制造工藝中,钼铌靶材常用于物理氣相沈積(PVD)或磁控濺射(sputtering)等過程中,用于沈積或鍍覆薄膜,制備電子器件、光學器件或塗層材料。
制備方法
粉末冶金法:钼和铌粉末按一定比例混合後,經過壓制、燒結等工藝制備成塊狀或片狀的钼铌靶材。
熔煉法:钼和铌可以通過真空熔煉或等離子弧熔煉等方法制備成塊狀或片狀的钼铌靶材。
特殊合金
有時,爲了改善靶材的特性,钼铌靶材可能會添加其他元素,如鉻(Cr)、钛(Ti)等,以調節材料的性能和應用範圍。
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